뷡 Ҹ Ӹ ƴ϶, Ǿ. Ʈ ũ ̴. ġ ߱ , 뷡濡 ڸ ȭ Ѿư DZ ȴ.
ڱ(Ѩ) Կ ѱ ִ ڵ Ʈ ũ ϰ ִ. 1986 ļ 12,000 , ڵ ȸϰ, ‘87 14,600 Ǿ. Ҹ з ڵ ũġ , Ҹ 漺 . е ̱ , () 12 ۰ Ǿ. , ġ Ʈϰ, ͺ . ũ Ƹ īƮ̴. Ƹٿ ٰ , ߸ų Ƶ ʰ, ũġ ʴ´ٴ , Ʈ ũ Ư¡ ִ.
Ƹٿ ũ ䷹Ʈ(photeresist) ĥ ǻ Ʈ ϴ ġ, ̳ ȭ ȣ , κ ȭѴ.
̹ κ Ͽ, ö ǥ鿡 Ni , ϸ, ݼǥ鿡 Ʈ . ̰ ۶ ϰ, ⼺ ؼ Ḧ ̿Ͽ, ũ ǥ鿡 ̼ Ʈ Ѵ. ⼺ 120 ũ ӿ, ũ Ʈ 3ﰳ , ̳ ȵDZ , 帣 öƽ ʼ̴. , ش Ⱦϱ κ ũ ǰ , ö ǽõȴ.
Ҹ , öƽ ߿ϰ ȴ. öƽ ũ ؼ, Ʈ ijġѴ. öƽ ũ ӿ , װ ũ ǥ鿡 Ͽ Ʈ Ѵ.
̶ Ⱦ Ұ ٸ 3ﰳ Ʈ , 1 ȵȴ. ؼ ũ κ ؾ Ѵ. ⼺ öƽ ũ ̰ , ҿ ̰ .
öƽ ϰ 带 , ڹ ұϰ Ͼ, ״ ϸ ҿ ̹漺 ̴.
ũ ̹漺 , öƽ , Ҹ ̶, ϴ ӵ ٸ ̹漺 . ̰ ȭϱ ؼ ܼ ⼺ ƴ϶, ༺ Ͽ ̹漺 氨Ѵ. , ũ ڱ ũ 䱸ǰ ϰ, ѵ ־, 翡 䱸ǰ ִ. öƽ , ڱ ũ. ȯ PET ּ ӿ ִ ڼ , Ƽó ּ ȯ þ ִ ڴ ּ ִ ִ. ڸ , ڸ ٰ Ѵ. öƽ ΰ ִ. ŸũƮ ̳ʽ̰ , īƮ ÷̰ ũ. , ڴ ũ öƽ Ͽ âϱ ǰ, ũ ջ ޱ .
, īƮ ũ. ϴ ִ. īƮ , ߸ ؼ ǿ ڷ ۰ ϰų, ܿ 帣 Ͽ , ȭ ؼ ݳ ΰ ִ. ῡ ̹ ӳ ԵǸ ó ð ɸ , ʿϴ. ̷ ذǾ, Ʈ ũ īƮ ̰ ִ.
Դٰ, Ͻμ ϸ ýۿ ̴ 30 ũ Ǵ ڱ ũ 1 ӿ A4 1 . , ߱, ִµ, ŸԿ ⳳ, ְ, ڱ ξ Ѵ´. Ŭ Ʈ Ҿ, κ ϰ ⼺ϴ ̴.
ġ ȭ μ δ.
۰ ϴ õμ, öƽ ȿ ڿܼ ̿Ͽ 2P̶ Ҹ ִ. ۸ ӿ, ڿܼ ȭϴ ũƮ øӸ ּ ϴ Ḧ ϰ ¿ Ѵ. øӸ ϱ 帣 , 缺 . ̹漺 ۾. տ ̳ ð .
о ϴ. ʰ簡 ϰ, 翡 ġϰ ϰ ִ ̴.
<䱸>
(80% ̻), ź, , , , ǵ, ġе, , (YAKE), ݼ, ,
<öƽ>
īƮ, ƿ ŸũƮ, 4ƿ 1, P/ PS
<۱ڨ 'öƽ̾' - .>
|